(대표 연구과제) 

• PVD 장비의 기초와 박막의 상용화를 위한 코팅 공정의 노하우를 전수

• 기존의 PECVD 방식을 이용한 DLC 박막 물성 향상을 위한 박막의 설계 및 공정 개선에 대한 기술을 검수

(대표 성과)

• Adhesion layer 설계

-내부 응력이 강한 DLC 박막의 특성상 강한 부착력을 확보하기 위해서는 Adhesion layer의 설계가 필수적임.

-Adhesion layer를 DLC 박막에 적합하게 설계해 부착력을 대폭 향상했으며, 해당 공정을 지속적으로 보완해 진행하고 있음.

• PVD 방식을 통한 DLC 코팅 공정 확보를 위한 Bias power 도입

• PVD 방식을 이용한 증착의 경우 PECVD 방식보다 박막의 밀착력이 없고 경도가 낮음.

• 이를 극복하기 위해 sputtering 공정 중 Bias voltage를 사용해 더욱 밀착력이 높고 고경도의 특성이 나타나는 공정을 확보하였음.