저에너지 SEM을 이용한 표면·미세조직 관찰

저자

김*철

게재저널

http://www.ksht.or.kr/

키워드

저에너지,주사전자현미경,SEM

개요

저에너지 SEM의 실현에 의하여, SEM을 이용한 금속시료의 평가는 대단히 고도화 되었다. 본 기술해설에서는 저에너지 SEM을 이용하여, (1) 실효 해상 도와 콘트라스트의 개선, (2) 표면해석의 실현, (3) 비도전성재료의 대전 제어의 특징에 대하여 동일한 영역을 여러 가지 가속전압으로 측정한 상을 이용하여 기술한다.

첨부파일

• 43. 김영철-2012년-에너지공학회지 21권 3호 게재논문-초음속 노즐의 분리부가 열폐색에 미치는 영향.pdf [655,832 byte]

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