과제명 : SOG도포막

분석구분

과제수행자

박*학

분석일

2003-12-18 12:00:00.0

기술산업분류

,

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

Silanol  MSQ  

과학기술표준분류

내용

CVD의 어려운 공정에서 진일보한 Spin On Glass에 의한 도포방법이 단독 또는 병행으로 이용되고 있다. 무기재료에서는 Silanol이 SOG방법으로 사용되고, 유기재료에서는 Methylsilsesquioxane이 가장 선호하는 재질로 이용되고 있다.

분석물

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