과제명 : Barrier Metal

분석구분

과제수행자

박*학

분석일

2003-12-18 12:00:00.0

기술산업분류

,

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

WN  TiSiN  barrier Metal

과학기술표준분류

내용

Barrier Metal의 개발이 최근 활발하게 이루어지고 있다. 여러 가지 종류가 등장하고 있으나, 아직까지 실용에 이용되는 것은 불과 2~3개에 지나지 않는다. 천이 금속 4,5,6족의 화합물을 다양화함으로써 배선목적에 가장 우수한 재료가 개발될 것이고, 그 후보물질을 예시해 두었다.

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