과제명 : 연료전지용수소센서(캔틸레버형)

분석구분

과제수행자

손*목

분석일

2003-08-25 12:00:00.0

기술산업분류

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

수소센서  캔틸레버  

과학기술표준분류

내용

연료전지에서 수소의 시스템적 흐름은 중요하다. 수소와 산소는 폭발적 반응을 수반하므로 수소의 스트림 이탈에 대한 신속한 검지는 관련 센서의 개발을 재촉한다. MEMS 기술의 수소센서로 미세제작의 캔틸레버 어레이를 채택한다. 캔틸레버는 수소의 존재에 의해서 표면에 코팅된 Pd에 의해 흡수가 일어나고 이는 레버의 휨현상을 주며 바닥면과 좁아지는 거리의 상관관계에 따라 가스의 농도에 상응하는 캐퍼시턴스가 발생한다. 이 기술에 의한 결과로 예측치에 거의 접근하며 직선성을 준다.

분석물

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