과제명 : 초임계 유체 기술의 세정분야 응용
- 분석구분
- 과제수행자
- 황*일
- 분석일
- 2003-08-05 12:00:00.0
- 기술산업분류
- ,
- 작성기관
- 한국과학기술정보연구원
- 키워드
- 초임계 이산화탄소 세정
- 과학기술표준분류
- 내용
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초임계 이산화탄소 세정은 세정요소의 제어성과 환경조화성의 관점에서 CFC 대체 세정으로서 뿐만 아니라 종래법에서 볼 수 없는 처리 및 능력면 또는 환경면에서의 우위점을 기대할 수 있는 세정법이다. 세정장치로의 가격과 실적의 축적이 검토과제이다.
- 분석물
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