과제명 : 후지전기(주)의 가스센서 특허기술분석

분석구분

기술동향분석

과제수행자

손*목

분석일

2003-06-25 12:00:00.0

기술산업분류

화학·화공

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

가스  센서  SnO2

과학기술표준분류

화학공정

내용

가스센서는 일본이 세계에서 가장 앞서있고, 그 중에서도 (주)후지전기가 가장 활발한 연구와 시장점유율을 보유하고 있다. 가스센서의 다양한 기술 중에서 SnO2를 기본 물질로 하는 센서의 기술을 집중분석한다. 종래에는 후막형의 연구가 성했으나 근래에는 MEMS 기술로 박막 형 센서에 대한 연구개발이 활발하다. 온칩 기술로 공정의 일관화가 쉬우면서 후막 형에 뒤지지 않는 성능의 센서 진입이 이루어지고 있는 것이다. 가스선택연소 층, 저 전력화, 및 다층구조의 검지와 촉매 층을 도입하는 등의 기술을 소개한다.

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