과제명 : 박막가스센서 -가스선택 연소층 도입-

분석구분

과제수행자

손*목

분석일

2003-06-25 12:00:00.0

기술산업분류

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

가스  센서  SnO2

과학기술표준분류

내용

박막가스센서는 나노기술의 접목과 그의 발전에 의미가 있다. 또한 일관된 공정으로 대량생산의 이점도 가지고 있다. 그러나 후막형 가스센서만큼 선택성과 제법의 다양성에서 이르지 못하는 약점이 있다. 이 기술은 이러한 약점을 보완하는 방식으로 상부에 선택연소층을 설치하여 약점을 개선하였고 전지구동으로 저전력화하였다.

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