과제명 : 다이아프램형 박막센서

분석구분

과제수행자

손*목

분석일

2003-06-25 12:00:00.0

기술산업분류

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

가스  센서  SnO2

과학기술표준분류

내용

박막가스센서의 다양해진 기술개발에 대한 일단의 소개로, 후막형의 우수한 가스선택성을 시현하고 동시에 MEMS 기술의 적용분야이다. 소형 저전력화를 위해, 센서의 기판에 동공을 구성 다이아프램형으로 한다. 이는 응력집중완화와 기계 강도를 향상시키며, 후막형에 버금가는 감지성능을 준다.

분석물

이미지변환중입니다.

등록된 분석물이 없습니다.