과제명 : 연구로에서 고품질 실리콘 반도체 생산

분석구분

과제수행자

채*기

분석일

2003-06-05 12:00:00.0

기술산업분류

,

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

중성자 변환 도핑  연구로  전력용 반도체

과학기술표준분류

내용

한국원자력연구소는 연구용원자로인 하나로를 이용한 중성자 핵변환 도핑(NTD) 기술을 개발하여 고품질 실리콘 반도체 생산을 시작하였다. 이 기술은 특수 설계된 설비에 실리콘 단결정을 담아 원자로 내에서 중성자를 조사하여 핵변환에 의해 생성된 인(P) 성분으로 도핑한 반도체를 생산하는 것이다. 이와 같이 제조된 반도체는 전력용 기기에 주로 사용되며, 세계 수요는 연간 약 100톤으로 추산된다. 현재 하나로에 설치된 장치로 연간 약 15톤을 공급할 수 있다. 향후 시설과 성능을 확대, 개선하여 세계시장의 상당부분을 점유할 수 있을 것이며, 연구로의 활용범위를 더욱 넓히게 됨과 아울러 국내 산업계에서의 활용도 이루어질 것으로 예상된다.

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