과제명 : 전지구동센서 -2-

분석구분

과제수행자

손*목

분석일

2003-04-23 12:00:00.0

기술산업분류

,

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

MEMS  센서  SnO2

과학기술표준분류

내용

가스센서는 감응도와 선택성 및 신뢰성 등이 요구되면서, 소제의 가스 반응 특성상 수반되는 고온으로 높은 전력이 요구 되어 왔다. 이에 부응하여 MEMS 기술로 센서 제작을 마이크로화 하면서 전지구동이 가능 하게 하였다. 이때 전극과 검지 층의 접촉에서 오는 저항을 없에기 위하여 도너 농도가 있는 접촉 층을 고안하고 전극간의 간격의 상관관계를 제시했다.

분석물

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