과제명 : 마이크로기계부품 기술동향(II)-마이크로 액츄에이터<상>

분석구분

기술동향분석

과제수행자

박*선

분석일

2003-02-12 12:00:00.0

기술산업분류

전기·전자

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

MEMS  마이크로액츄에이터  마이크로

과학기술표준분류

전기 · 전자

내용

MEMS기술의 발전에 따라 1990년대 이후 기계시스템의 에너지변환 구동장치인 엑츄에이터의 마이크로화가 빠른 속도로 진전되고 있다. 이러한 마이크로액츄에이터의 개발수요는 시스템의 마이크로화, 즉, MEMS의 결과이다. 근래 대용량 마이크로칩의 등장에 의한 컴퓨터의 소형대용량화, HDD,비디오카메라,휴대폰 등 IT기기분야의 소형화,대용량화,초정밀화 추세를 비롯하여, 정밀전자의료기기, 전자/원자현미경, 자기로기기, 마이크로로봇, 마이크로분석시스템, 초정밀가공시스템, BioMEMS, 마이크로터보기계, 마이크로팩토리 등 마이크로구동디바이스가 요구되는 새로운 기술조류가 마이크로액츄에이터의 연구개발수요를 촉진시키는 배경이다. 이미 나노액츄에이터의 연구수요도 거론되고 있다. 구동원리에 따라 액츄에이터의 종류는 매우 다양하게 분류되며 용도에 따라 타입과 기술을 달리하고 있다. 본 보고서는 상.하 2회로 나누어 마이크로액츄에이터에 대한 국내외의 기술동향을 최근의 연구개발현황을 중심으로 분석하고 급속히 증가추세를 보이고 있는 특허출원현황을 분석하였다. 보고서<상편>에서는 현재 가장 널리 연구.응용되고 있는 정전구동형, 압전구동형 및 전자구동형 마이크로액츄에이터에 대한 외국의 연구개발동향을, 보고서<하편>에서는 SMA마이크로액츄에이터를 비롯하여 ECF마이크로액츄에이터 등 최근 새로운 구동원리로서 응용연구가 확산되고 있는 마이크로액츄에이터기술의 국내외 연구현황과 특허동향을 다루고 있다.

분석물

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