과제명 : 연구로를 이용한 실리콘 반도체 제조

분석구분

기술동향분석

과제수행자

채*기

분석일

2003-02-11 12:00:00.0

기술산업분류

전기·전자

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

실로콘 반도체  연구로  

과학기술표준분류

전기 · 전자

내용

실리콘(Si)에 중성자를 흡수시켜서 인(P)을 도핑하는 중성자변환도핑(NTD: Neutron Transmutation Doping)의 원리를 이용하여 실리콘 반도체를 제조할 수 있다. 이 방법으로 만들어진 실리콘웨이퍼는 비저항의 균일도가 매우 높으며 전력용 반도체 소자에 많이 사용된다. 현재 전세계에 있는 여러 연구로에서 NTD 조사서비스를 하고 있는데, 최근에 일본에 있는 반도체 웨이퍼 공급회사가 우리나라의 하나로에 중성자조사를 의뢰하여 왔다. 하나로는 양질의 중성자 조사시설을 갖추고 일본에 가까운 위치상의 이점을 이용하여 안정적인 NTD 조사 시장을 확보할 수 있을 뿐만 아니라 원자력의 산업적 이용에도 크게 기여하게될 것이다.

분석물

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