과제명 : 후막/박막 SnO2 가스 센서의 연구동향

분석구분

과제수행자

손*목

분석일

2003-02-06 12:00:00.0

기술산업분류

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

SnO2  가스센서  후막/박막

과학기술표준분류

내용

자동화의 확산, 가스 안전필수, 공해차단, 삶의 질 향상 등의 요청에서 가스센서는 이들에 대한 사전 정보제공과, 재해에 대한 예방 차원에서 중요한 수단이 될 수 있다. 센서 재료로서 많은 소재가 있으나, SnO2가 감응성, 선택성 등의 장점으로 많이 쓰이고 있다. 센서의 가스 검지원리는 금속 산화물 표면에서 일어나는 표면 반응에 의하여 전자의 이동이 일어나고, 이로 인한 전도도의 증감으로 가스를 검지하게 되는데, 가장 흔한 구별이 후막과 박막 센서이다. 각기형태별 강점이 있는데, 후막형은 조성과 제조방법의 다양성의 제공, 박막형은 다중층과 소형화의 강점을 가지고 있다.

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