과제명 : MEMS 센서기술

분석구분

미래유망기술분석

과제수행자

박*준

분석일

2009-03-24 00:00:00.0

기술산업분류

전기·전자

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

MEMS     

과학기술표준분류

내용

본 본고서는 미래유망기술의 하나로서 MEMS 센서 기술의 동향에 대하여 기술하였다. MEMS 는 반도체 제조공정을 이용하여 가공된 3차원 구조체로 센서, 액추에이터로 구성되어 있다. 이러한 MEMS는 지금까지 잉크젯 헤드, 압력센서, 관성센서 등의 센서와 DLP, 바이오 칩, 마이크로 유체소자 및 통신의 RF, 광학, IFR 통신 소자에 성공적으로 사용되었다. 이러한 센서나 소자는 의료분야, 자동차 분야 및 통신 분야에 응용되었다.
앞으로 MEMS는 집적기술의 발전과 시장수요에 따라서 더욱 소형화되고 저렴하게 대량 생산할 수 있는 체제로 발전해 나갈 것으로 전망된다. 더구나 집적화 기술의 발달은 MEMS를 이종간 다 기능 소자로 발전시켜 센서, 제어, 논리, 구동 등의 모든 동작을 한 칩에서 수행할 수 있는 시스템(SoC)으로 발전해 나갈 것으로 전망된다. 또한 크기도 CNT 등을 이용한 나노 수준의 NEMS가 개발될 것으로 예상된다. 따라서 이러한 MEMS 기술동향에 대한 세계적인 추세를 재빠르게 파악함으로서 국내 MEMS 센서기술을 포함한 MEMS기술이 국제경쟁력을 갖출 수 있기를 기대한다.

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