과제명 : 차세대 고성능 메모리 집적 기술

분석구분

미래유망기술분석

과제수행자

황*룡

분석일

2008-04-25 00:00:00.0

기술산업분류

정보통신

작성기관

황재룡

키워드

메모리  반도체  

과학기술표준분류

내용

본 주제 분석 보고서는 고성능 반도체를 집적하는데 도움이 될 것으로 예상되는 차세대 집적 기술들을 분석하여 미래에 유망한 기술인지에 대한 적부를 검토할 것이다.
피인용율 랭킹이 높은 특허들 중 반도체 공정 기술과 관련된 특허들을 분류하여 분석하였으며 크게 웨이퍼 검사 및 가공 기술, 패터닝을 위한 마스크 정렬 기술, 셀의 최적 배치, 메모리 소자의 제조 및 공정 기술 등으로 분류되었다.

분석물

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