과제명 : 나노 스케일 디바이스 생산을 위한 나노리소그라피기술

분석구분

미래유망기술분석

과제수행자

박*선

분석일

2008-02-29 00:00:00.0

기술산업분류

일반기계,정밀기계

작성기관

박장선

키워드

나노리소그라피기술  디바이스  반도체

과학기술표준분류

내용

나노리소그래피 기술개발의 주요 타깃은 미세화경쟁이 치열하게 이뤄지고 있는 반도체공정에서의 미세화에 있다. 그러나 근래에는 화학, 바이오, 환경, 정보통신 등 많은 분야에서 나노구조물의 수요전망에 대응하여 이 기술의 응용분야가 다양화하는 추세이다. 이 보고서는 나노리소그래피와 관련된 최근의 국제적인 기술개발동향과 응용을 위한 R&D동향, 국내의 R&D현황과 수준을 평가하고, 향후 기술전망을 개관하고 있다.

분석물

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