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실리콘 웨이퍼의 최근 시장 및 기술동향

전문가 제언

 

 최근 회로 선폭이 보다 미세해지면서 구리 배선을 위한 TiN 하드마스크 공정 장비도 또 한 번의 전환기를 맞이하고 있다. 세계 1위 반도체 장비 업체인 Applied Material사는 기존 장비를 개선해 10nm 이하의 초미세 공정에서도 구리 배선을 가능케 하는 하드마스크 PVD 시스템을 선보였다. 이 제품은 소스 파워로 직류 대신 초고주파(VHF) 기반의 교류를 활용하여 쳄버 내부의 아르곤 플라즈마의 밀도를 높이고, 이온 하나하나를 개별적으로 조절할 수 있게 하였다. 이 결과 더 단단하고, 응력에 대한 대응력이 높은 박막을 증착할 수 있게 되었다. 

 

디스플레이 뱅크사는 전세계 7개 메인 p-Si생산업체를 비롯하여 80여 개의 신규 참여업체의 기업동향파악을 집계하여 발표하였다. 이 웨이퍼 기술동향 및 시장전망 보고자료에 따르면, 2008~2012년의 태양전지용 폴리실리콘과 20092010년의 잉곳은 충분한 폴리실리콘 공급으로 인해 장기계약을 유도하고 단기 공급(spot) 가격의 하향세를 전망하였다. 하지만 2011년 이후부터는 점차 화복될 것으로 전망했다. 이에 향후 폴리실리콘 시장의 전체 규모는 2008년의 21억 달러에서 2012년의 78억 달러까지 약 4배 가깝게 성장 할 것으로 내다봤다.

 

2015년 7월, iNSIGHT SEMICON사가 발표한 자료에 따르면 구리는 기존 반도체의 배선 재료였던 알루미늄을 완벽하게 대체했으며 첨단 반도체 분야에선 이제 일반적 기술이 된 것으로 알려졌다. 300nm Si웨이퍼를 연삭, 연마하는 가공장치의 박판 인쇄화가 진행되는 가운데 웨이퍼 대량생산 라인을 검토할 경우에는 공정지표의 관점에서 박판 인쇄화도 중요한 세정기술의 하나이다.

 

최근 국내에서는 원가절감을 통하여 2차, 3차 구조조정에서 살아남고 있다. ‘협력사 쥐어짜기’라는 의미로 받아들여지고 있지만, 원가를 낮춰 경쟁에서 이길 수 있다. 태양광 시장은 중국이 쥐고 있다. 시장도 넓고, 공급업체도 중국 업체들이 대부분이다. 한때 태양광 시장을 주도하겠다고 뛰어들었던 삼성, LG, 현대는 공급과잉 시기에 관련 사업을 대부분 축소했다. 현재 한국 기업들 가운데 태양광 분야를 집중 육성하고 있는 곳은 한화와 OCI 정도인 것으로 알려졌다.

 

저자
Koji IZUNOME
자료유형
니즈학술정보
원문언어
일어
기업산업분류
재료
연도
2016
권(호)
67(8)
잡지명
表面技術
과학기술
표준분류
재료
페이지
389~395
분석자
김*상
분석물
담당부서 담당자 연락처
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