MEMS 구조의 이온화 진공 센서

전문가 제언

○ 현대 첨단산업에서 진공기술의 중요성에 대해서는 새삼 언급할 필요가 없을 것 같다. 진공기술은 안정적인 진공상태의 구현을 바탕으로 하며, 이를 위해서는 진공상태에 대한 탐지와, 이를 바탕으로 하는 제어가 필수적이다. 이 과정에서 센서는 핵심 역할을 하고, 진공기술의 이용이 더욱 다양해지면서 새로운 기능의 센서에 대한 수요가 발생한다.

 

○ 작은 공간에 설치할 수 있는 소형(miniaturized) 진공 센서에 대한 수요는 이러한 추세를 보여주는 한 예가 될 것이다. 센서의 소형화는 공간 측정 분해능을 높일 수 있기 때문에 그 자체로서 이미 의미가 있다. 전통적 진공 센서를 다루는 많은 사람들이 센서의 소형화, 특히 MEMS 기술을 이용한 센서 개발에 노력하는 이유이기도 하다. 기존 Pirani 센서의 1/50 크기인 센서를 실리콘 나노와이어를 이용해 만들었다는 해외과학기술동향 분석보고가 있다.

 

○ 현재 우리나라 산업의 근간을 이루는 많은 기술이 진공기술을 바탕으로 하고 있다. 국내 진공 게이지의 시장 규모는 600억 원이 넘을 것으로 추산되는 바, 하나의 센서 종류로서는 상당한 규모이다. 국내 진공기술의 기저에는 한국표준과학연구원 진공기술센터가 있다. 진공시스템 및 공정의 신뢰성 증대를 위한 진공특성평가시스템 구축의 일환으로 다양한 원리의 진공 센서를 개발하고 있다. 최근 반도체 공정 핵심 기술인 탄소나노튜브의 전계효과를 이용한 압력 센서 개발이 보고되었다.

 

○ 국내 진공 센서에 대한 연구개발은 일부 연구소를 포함하여 다수의 대학에서 수행되고 있으나, MEMS 센서 개발에 대한 정보는 많지 않다. 놀랍게도 민간기업인 한국센시스가 포항공대 및 포항나노기술집적센터 등과 손잡고 MEMS 센서 기술개발에 노력한다는 보고가 있다.

 

○ 산업과 과학기술의 발달은 끊임없이 새로운 측정기술을 요구하고, 센서기술은 이를 뒷받침 하는 중요 요소이다. 특히 MEMS 기술과 같은 첨단 기술을 접목한 센서 개발이 활발히 이루어지기를 기대한다.

 

저자

T. Grzebyk？, A. Gorecka-Drzazga

자료유형

니즈학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2016

권(호)

246()

잡지명

Sensors and Actuators, A: Physical

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

148~155

분석자

은*준

분석물

• MEMS 구조의 이온화 진공 센서.pdf [498,365 byte]

이미지변환중입니다.