인쇄된 전극구조를 이용한 용량형 습도센서

전문가 제언

○ 대기환경 조절 파라미터 중 습도와 온도는 시간 변화속도가 상대적으로 느려서 일반적으로 이들 센서 특성에서 반응속도는 크게 문제가 안 되는 반면에 장기적 안정성이 주요 고려인자가 된다. 이에 따라 습도측정은 기계산업 같은 동적 제어가 중요한 분야보다는 반도체산업과 의료산업, 화학산업, 식품가공산업 및 농업 등 습도의 장기적 예측과 제어가 요구되는 분야에서 중요한 역할을 하고 있다.

 

○ 이들 산업분야에서 습도의 정확한 측정과 조절은 제품 비용을 결정하는 일차적 인자로 오랫동안 인식되어 왔다. 이는 습도가 온도와 더불어 국가표준을 구성하는 7대 기본단위 중의 하나라는 사실에도 반영되어 있다. 이에 따라 습도측정을 위한 노점(dew point)습도계와 중력습도계 등 다양한 재래식 기술이 시도되고 개발되었다.

 

○ 최근 산업현장에서 습도측정이 더욱 정교한 공정관리에 필수적일 뿐만 아니라 근로자의 건강과 안전관리에도 필요하다는 인식이 널리 퍼지고 있다. 이 같은 추세를 지원하기 위한 습도측정 센서도 전통적인 방식을 벗어나 MEMS기술을 적용한 더욱 안정적이고 소형화된 장치 개발로 이어지고 있다. 현재 세계적으로 다양한 형태와 구조를 갖는 MEMS 용량형 습도센서가 가장 보편적으로 사용되는 추세이다.

 

○ 이들 상품은 대개 미국계 회사들의 제품이지만 국내에서도 상당수의 연구소와 대학연구팀이 이 분야에서 업적을 보고하고 있다. 한국표준과학연구원의 온도 및 습도 연구팀이 대표적이다. 전자부품연구원 연구팀의 용량형 습도센서에 대한 해외특허출원 사례도 있다. 기타 Postech과 KAIST, 단국대 등 대학도 관련 연구개발을 보고하고 있다.

 

○ 습도는 특히 바이오산업에서 공정의 성패를 결정하는 중요한 인자가 되는 경우가 많다. 바이오분야에서 상대적으로 활성화되어 있는 국내 바이오벤처의 규모를 감안할 때 이를 지원하는 습도측정 기술의 미래를 밝게 보는 것은 지나친 낙관일까?

저자

Almudena Rivadeneyraa, Jose Fernandez-Salmerona, Manuel Agudo-Aceme et.al

자료유형

니즈학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2016

권(호)

244()

잡지명

Sensors and Actuators, A: Physical

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

56~65

분석자

은*준

분석물

• 인쇄된 전극구조를 이용한 용량형 습도센서.pdf [532,247 byte]

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