초임계 CO2 에멀션을 이용한 무전해도금

전문가 제언

○ 도금은 4000년 전부터 물질의 외관을 미려한 표면으로 장식하거나 산화를 방지하고 표면 경도를 높이는 수단으로 발전해오다가 현재는 기능성이나 LSI 등의 미세배선 형성용 damascene Cu 전기도금 공정 등이 개발되고 있다. 이들 전기도금이나 무전해도금은 옛날부터 수소발생으로 인한 도금피막 중에 핀홀이나 보이드 발생 등의 문제가 있다. 본고는 도금피막의 핀홀 결함 등을 줄이기 위하여 초임계이산화탄소 에멀션을 이용한 무전해 도금에 관한 중요한 기술이다.

 

○ 도금에 관한 기술적 과제는 핀홀, 피막 두께 분포, 피막품질부터 폐액 처리까지 해결해야 될 문제가 많다. 특히 도금기술은 예로부터 경험에 의한 숙련이 발전해오면서 현재까지 각 회사마다 노하우를 가지고 있으면서도 서로 공개하여 발전을 도모하지 못하는 면도 있다.

 

○ 기포를 줄이는 방법으로 도금액과 초임계 이산화탄소의 에멀션을 이용하면 기판 표면의 수소기포를 효과적으로 제어하는 방법이 있으며 이외에도 도금액을 상압 하에서 다량의 기체를 혼입시켜서 형성하는 폼(foam)을 이용하여 핀홀이 적은 도금피막이 얻어지는 방법도 있다.

 

○ 폴리머 기판 표면처리 안하고 초임계 이산화탄소에 Pd-acetyl-acetonate를 포함한 초임계 CO2 용액 중에서 용이하게 Pd 촉매핵을 높은 밀도로 석출시키는 방법과 초임계이산화 탄소 용액과 도금액의 에멀션을 무전해 SNP법을 조합하여 도금하는 특수한 방법이 개발되었고, 폴리머에 NiP, Au, Pt 등의 무결함 무전해도금이 기대된다.

 

○ 국내에도 도금공장은 많이 있으나 특수한 도금회사 들은 각 회사마다 도금법에 대한 노하우를 가지고 있다. 이들이 가진 노하우를 발전시키기 위하여 산학연협동에 의한 특수한 기구를 조성하여 각 회사의 특성별 지원체제를 구축할 필요가 있다고 생각된다. 폐액처리도 효과적으로 활용하여 유가물질을 리사이클링 하는 방법을 개발할 필요가 있다.

저자

H.UCHIYAMA, Tso-Fu.CHANG, C.CHEN and M.SONE

자료유형

니즈학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2016

권(호)

67(4)

잡지명

表面技術

과학기술
표준분류

재료

페이지

192~196

분석자

황*길

분석물

• 초임계 CO2 에멀션을 이용한 무전해도금.pdf [522,119 byte]

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