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전자기기의 금속화를 위한 화학식각

전문가 제언: ○ 근년 모바일용 스마트 기기 제품의 수요가 급성장함에 따라 정보통신기술(ICT) 제품용 패널의 수요도 지속적으로 성장하고 있다. 모바일용 기기 제품에서 가장 중요한 요소는 휴대성이기 때문에 보다 얇고 가벼운 디스플레이의 개발이 필요하다. 디스플레이 패널의 박형화는 박막트랜지스터-액정디스플레이(TFT-LCD) 패널을 얇게 만드는 공정기술이 핵심이며, 현재는 공정기술 상의 이유로 주로 식각액(etchant)을 이용하여 화학적으로 두께를 감소시키는 방법이 많이 이용되고 있다.

○ 한편, TFT-LCD가 점점 더 대형화됨에 따라 습식 식각에 사용되는 식각액의 사용량이 증가 추세에 있다. 따라서 제조원가의 절감을 위해서는 식각액의 사용량 감소나 동일한 양의 식각액에 의해 식각 가능한 식각 용량을 증가시킬 수 있는 방법의 개발이 매우 중요하다.

○ 이 발명은 금속물질에 대해 높은 식각선택도 및 식각의 균일성을 제공하는 개선된 식각액 조성물을 제공한다. 이 식각액 조성물은 염산, 메탄술폰산, 질산 등의 산 및/또는 구연산과 희석용액으로서 상당량의 물이 첨가된다. 특허청구권 범위를 보면, 식각액 조성의 성분과 배합비율에 관한 것이 주요 권리청구사항이다.

○ 그러나 국내에서도 이와 유사한 식각액에 관련된 기술은 솔브레인을 비롯하여 동진쎄미콤, 이엔에프테크놀로지, 동우화인켐 등 여러 중소기업들이 특허를 출원함과 함께 제조 및 공급에 참여하고 있으므로 이 특허청구권 범위의 식각액 조성 성분 및 배합비율에 유의하면 특허권 침해는 크게 문제가 없을 것으로 판단된다.

○ 현재 반도체 및 디스플레이용 화학약품은 많은 부분이 국산화가 이루어지고 있으나 아직까지 국내 중소업체들이 점유율을 늘릴 수 있는 부분이 많이 남아 있기 때문에 앞으로도 반도체나 디스플레이와 같은 전방산업 이상의 성장추세는 지속될 것으로 예상된다. 향후 식각액의 개량방향은 빠른 식각속도 및 균일한 식각, 식각 공정의 간소화에 의한 생산성 향상 등에서의 기술혁신이 추구되어야 할 것으로 판단된다.

저자: H.C. Starck Inc., P. Hogan, J. Moore, A. Brewer, J. Pettit
자료유형: 니즈특허정보