SiC 파워 반도체와 관련 기술 개발
- 전문가 제언
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○ 제1 세대 기술로 1㎸ 급의 SiC-SBD(Schottky Barrier Diode)는 이미 개발되어 하이앤드의 서버 전원이나 가전제품에 탑재되기에 이르렀다. SiC 트랜지스터에서는 1㎸/1mΩ㎠ 급의 내압/특성 옴저항을 목표로 하는 기술개발이 진행하여, Planer형 MOSFET에서 660V/1.8mΩ㎠, Trench형 MOSFET에서 790V/1.7mΩ㎠, 더욱 JFET에서 1,000V/1.5mΩ㎠이라고 하는 Si 파워-트랜지스터를 훨씬 능가한다.
○ 제2세대의 SiC 디바이스 개발에 관하여서는 유럽으로부터 3㎸/45mΩ㎠, 4.2㎸/23mΩ㎠ 등의 MOSFET이 보고되었고, 제3세대에 있어서 기기기술에서는 SiC Pin 다이오드를 이용한 고속 5㎸ 단상 3레벨 전환기나 철도차량의 3.3㎸/1,500A 정격의 대용량 풀 SiC 파워 모듈의 실증과, 고성능인 고내압 디바이스의 개발이 진행 중이다.
○ SiC 전력 반도체는 탄소와 규소로 이루어진 화합물 반도체인 실리콘 카바이드(탄화규소)를 재료로 만들어졌다. 그 선진성과 우수한 성능을 바탕으로 오랜 기간에 걸쳐 “꿈의 소자”로 기대를 모아온 SiC 전력 반도체는 산업기기, 자동차, 철도, 컨슈머 기기 등 다양한 애플리케이션에 채용되어 기기의 에너지 절감에 기여하고 있다
○ 국내에서는 1999년부터 전기연구원이 중심이 되어 탄화규소 기반 전력반도체 연구가 시작되었으며, 현재 전기자동차 및 태양광 발전소용 인버터의 소형화 및 고출력화를 위한 전력변환소자의 개발이 진행 중이다. 기존의 실리콘을 기반으로 한 전력반도체를 SiC 기반 전력반도체로 대체하게 되면 전력변환장치의 고효율화, 고집적화가 가능하여 부피와 무게도 1/3 이하로 줄일 수 있게 될 것이다.
○ 또 전원장치를 정류 소자만 SiC로 대체하여도 5배 이상의 출력 밀도를 낼 수 있음을 보여주고 있다. 앞으로 2세대, 3세대 기술개발에 지속적으로 투자되어 특수 분야에서도 반도체 강국으로 선도되길 기대한다.
- 저자
- Okumura Hazime
- 자료유형
- 니즈학술정보
- 원문언어
- 일어
- 기업산업분류
- 재료
- 연도
- 2015
- 권(호)
- 63(5)
- 잡지명
- 工業材料
- 과학기술
표준분류 - 재료
- 페이지
- 18~23
- 분석자
- 강*호
- 분석물
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