실리콘 다이오드 온도센서의 응용

전문가 제언

○ 모든 측정량 중에서 온도는 시간 다음으로 많이 측정되는 물리량이며 산업 활동에서는 가장 빈번히 측정된다. 물질의 거의 모든 물리적, 화학적 성질이 온도가 변하면 영향을 받는다. 따라서 온도를 감지하는 온도센서는 센서시장에서 수량으로 따지면 가장 많은 부분을 차지한다.

 

○ 온도센서는 유리온도계, 열전대와 같이 온도를 직접 측정하는 온도계로 사용하는 양보다 압력, 습도유량 등의 측정에서 온도 보상을 위해 이용되는 경우가 훨씬 많다. 여기에서 소개하는 실리콘다이오드 온도센서 (열다이오드; thermodiode)는 주로 이런 온도 보상을 위해 사용된다. 전자공학의 기본요소인 p-n접합을 이용한 열다이오드는 가격이 싸고 소형이며 전력소비가 적고 측정범위가 넓을 뿐만 아니라 다른 전자부품과 칩에서 집적이 가능하다는 장점을 가진다.

 

○ 이 논문에서는 공학적 응용에서 그 활용도가 점차 커지고 있는 실리콘다이오드 온도센서의 구조와 기본원리와 더불어 다양한 응용사례를 소개하였다. 실리콘다이오드와 SOI(Silicon On Insulator)에 기초한 온도센서의 다양한 응용을 온도범위, 다이오드 작동모드, 감도, 다이오드나 칩의 크기에 따라 종합한 표를 제공하여 실리콘다이오드 온도센서를 처음 접하는 사람들이 쉽게 참고할 수 있도록 하였다.

 

○ 상보형 금속산화물반도체(CMOS) 기술이 꾸준히 발전하고 마이크로 가공기술의 발달로 전자공학에서 집적회로(IC)와 칩 온도의 정확한 측정과 제어가 더욱 중요해짐에 따라 실리콘다이오드 온도센서의 역할도 더 커질 것으로 예상된다.

 

○ 반도체소자와 스마트폰 생산기술이 세계 최고인 한국이지만 소자를 이용한 센서기술은 앞으로 발전의 여지가 많다. 정부에서도 첨단센서 개발을 핵심 기반기술의 하나로 선정하였으며 실리콘다이오드 온도센서가 거의 모든 측정분야에서 응용 가능성이 있으므로 교정 및 시험기관에서도 이 분야의 발전에 관심을 가져야 할 것이다.

저자

Mohtashim Mansoora, et al.

자료유형

니즈학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2015

권(호)

232()

잡지명

Sensors and Actuators, A: Physical

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

63~74

분석자

박*철

분석물

• 실리콘 다이오드 온도센서의 응용.pdf [500,083 byte]

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