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광기계적 관성 센서

전문가 제언: ○ 미세전자기계시스템(MEMS: Micro Electro-Mechanical System)이란 반도체 및 기계기술을 융합해 제작되는 마이크로미터 단위의 초소형 시스템을 말한다. 가속도, 압력, 관성 및 환경 센서 등으로 다양하게 응용될 수 있으며 현재 스마트폰 동작감시 기술, 자동차 에어백 센서 등으로 활용되고 있으며 MEMS 센서 시장이 전 세계적으로 빠른 성장세를 나타내고 있어 세계 시장의 경우 2012년 110억 달러에서 2017년 약 210억 달러 규모로 매년 꾸준하게 성장할 것으로 전망된다.

○ 그러나 현재의 MEMS 장치는 운동이라는 기계적 요소를 전기용량이라는 전기적 요소로 바꾸어 운동을 감지하는 방법으로 on-chip 작업이나 극소형화의 작업이 복잡하다는 단점을 가지고 있어 급격히 발전하고 있는 웨어러블 기기 등 최신 스마트 기기가 요구하는 특성을 만족시키기 어려운 실정이다. 본 특허의 출원자인 Intel은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 전기용량의 변화를 광 경로의 변화로 바꾸는 획기적인 아이디어를 특허로 제안하였다.

○ 본 특허에서는 기존의 관련 특허들인 US 2006/0198567과 US 2006/0169044 등을 참고하여 MEMS 디자인에 새로운 패러다임을 제시하여 이 분야의 기술을 독점하고자 하였다. 그러나 본 특허를 회피하여 더 나은 디자인을 제시할 방법도 가능한 것으로 보인다. 한 예로 한 개의 변형 가능한 경로만 설치하고 변형이 없는 광 경로에 의한 빛은 전자적으로 대치할 경우 훨씬 디자인이 간편해지며 원가가 절감될 수 있을 것이다.

○ MEMS에 관한 국내특허는 2013년 이래로 현재까지 4건에 불과해 국내의 연구가 매우 저조함을 알 수 있다. 현재 세계 최대 MEMS 센서 수요처인 삼성전자는 ST마이크로일렉트로닉스 등 글로벌 업체들로부터 센서를 수입해 쓰고 있다. 그러나 세계 반도체 1위 업체인 Intel이 이 특허를 제출한 사실에서 알 수 있듯이 MEMS 기술선점은 아주 중요한 과제이다. 따라서 MEMS 연구에 경험을 가지고 있는 KAIST 등 연구기관과 정밀 센서 제조업체 간의 산학 협력 연구가 절실히 요구된다.

저자: INTEL CORPORATION
자료유형: 니즈특허정보