Al도핑 ZnO의 전기도금 기술

전문가 제언

○ 최근 산화아연(ZnO)는 과학계에 미래 유망재료로서 상당한 주목을 받고 있는데, ZnO 막(film)은 고온 전기소자, 투명전극, 압전변환기, 가스센서, 액상 결정 디스플레이, 발광 다이오드, 레이저 다이오드, 자외선범위 측정용 디바이스, 태양전지 등 여러 용도로 적용분야를 넓혀가고 있다.

 

○ Al도핑 ZnO박막은 화학적 스프레이법, 펄스레이저전착법, 졸-겔 침지코팅, 반응성 DC(Direct Current)와 RF스퍼터링 및 전기화학적 전착법과 같은 여러 가지 공정에 의해서 합성된다. 국내에서는 주로 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 연구가 진행되어 왔다. 그러나 전기화학적 전착법은 단순성과 큰 면적의 태양전지에 대한 적용이 용이하다는 장점이 있기 때문에 향후 전기화학적 전착법에 대한 연구성과가 기대된다.

 

○ 도핑된 ZnO 박막도금에 대한 우수한 품질과 재생산성 기술을 확립하기 위해서는 용액의 pH와 온도에 대한 정확성이 큰 영향을 미치지만, 이외에도 전극의 위치와 교반조건을 엄격한 조건으로 제어해야 한다.

 

○ ZnO막의 구조적, 전기적, 광학적 성질은 어느 정도 광범위하게 조사되었으나 이러한 성질을 더욱 향상시킬 수 있는 도핑효과에 대한 연구에 최근 관심이 집중되고 있다. 일례로 국내에서는 2014년 전북대학교에서 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 Al-Doped ZnO 박막의 제조기술에 대한 연구실적이 있다. 향후 국내관련 기업체에서도 넓은 면적에의 적용이 가능한 전기도금법에 의한 Al도핑 ZnO 박막의 제조기술에 대한 연구개발이 기대된다.

 

○ ZnO는 F, Cu, Ag, Ag, Al, In, Ga 등과 같은 넓은 범위의 원소들과 도핑할 수 있지만, 지금까지 연구의 많은 부분이 In 혹은 Ga의 도핑연구에 성과를 거두고 있다. 만약에 전기도금 기술만 확립된다면 값싸고 풍부하고 독성이 없는 물질인 알루미늄이 이상적인 후보물질이 될 수 있을 것이기 때문에 국내관련 기업체에서의 ZnO에 대한 알루미늄도핑 기술개발이 향후 대단히 중요한 과제가 될 수 있을 것이다.

저자

Ahmed El HICHOU, Sebastien Diliberto, Nicolas Stein

자료유형

니즈학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

재료

연도

2015

권(호)

270()

잡지명

Surface and Coatings Technology

과학기술
표준분류

재료

페이지

236~242

분석자

유*천

분석물

• Al도핑 ZnO의 전기도금 기술.pdf [481,812 byte]

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