열 유량계

전문가 제언

○ 열 유량계는 주로 기체의 유량을 측정하기 위해 많이 사용되며 측정 시 온도 압력 등의 보정모니터 없이 바로 유량을 측정할 수 있어 널리 사용되고 있다. 사용되는 용도로는 공장이나 빌딩의 공조용 공기 측정, 보일러의 연소 제어, 반도체공정의 가스모니터링 등 실로 다양하며 특히 최근 하수처리장이나 상수도 처리장 등 환경산업에서의 공기량 및 가스의 측정 등에도 활용되고 있다.

 

○ 기존의 기체의 유량 측정은 비교적 단순한 체적 측정에 그쳤으며 측정정밀도가 큰 문제가 되지 않았다. 그러나 최근 환경문제가 심각해짐에 따라 주입공기 및 배출가스에 대한 정밀 측정이 중요한 이슈가 되고 있으며 또한 반도체공정 등 정밀산업에서의 정밀한 기체 유량 조절이 큰 과제가 되고 있다. 본 특허는 열 유량계의 정밀도를 향상하기 위하여 기존의 구조를 개선하여 히터와 온도감지센서를 각각 독립된 멤브레인 위에 위치시킴으로 두 요소 사이의 열전도를 차단하였다.

 

○ 본 특허의 특징은 히터와 온도감지센서 사이의 열전도를 차단하여 정밀도를 높인다는 점에 있으며 청구범위를 타 특허들과 달리 포괄적으로 설정하지는 않았다. 따라서 본 특허를 침해하지 않으면서 다양한 기능을 갖는 유체특성 스마트 감지센서를 출원하는 것이 가능한 것으로 보인다. 한 예로 온도센서와 함께 화학특성 분석 센서를 복합시킬 경우 유량과 함께 기체의 종류나 독성 여부 등을 분석할 수 있어 반도체공정이나 환경 감시센서 등으로 활용범위가 크게 넓어질 것이다.

 

○ 국내의 열 유량계에 대한 연구 및 생산도 최근 비교적 활발히 이루어져 본 특허를 선행하는 특허가 2013년 한국표준과학연구원에 의하여 2건(kr1020130109494, kr1020130109483) 출원된 바 있으며 기업측면에서는 플로트론이 유량계 및 플랜트 유량계측 시스템 매출을 통하여 2014년 300억 원의 매출을 달성한 바 있다. 그러나 플로트론, 한국유량계공업, 한국후로셀, 한국오발 등 4-5개 업체를 제외하면 대부분 업체들이 외국의 기기를 수입판매하고 있는 실정으로 학·연·산 협력을 통한 국산 기기의 연구개발이 시급한 실정이다.

저자

ITRON, INC.

자료유형

니즈특허정보

원문언어

영어

기업산업분류

기초과학

연도

2015

권(호)

WO20150084946

잡지명

PCT특허

과학기술
표준분류

기초과학

페이지

~20

분석자

김*구

분석물

• 열 유량계.pdf [447,268 byte]

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