광 간섭 기술에 의한 동적 진공 측정

전문가 제언

○ 진공기술은 다양한 산업 분야에서 활용되고 있으며, 특히 오늘날 우리가 누리는 IT 기술과 나노 기술은 진공기술의 활용과 도움 없이는 현실화가 불가능했을 것이다. 이에 따라 국내외를 막론하고 세계적으로 수많은 기업과 학교 및 연구기관에서 진공 관련 기술 개발에 힘쓰고 있다. 진공 관련 기술은 크게 진공 발생기술과 진공 측정기술로 나눌 수 있다.

 

○ 진공 측정 게이지(gauge)는 측정 대상 진공도의 범위에 따라 다양한 원리를 바탕으로 한다. 예컨대 저진공 측정에는 열전기 쌍 게이지 등이 쓰이고, 고진공 측정에는 이온화 게이지 등이 쓰인다. 이들 게이지는 시간 변화가 작은 정상(stationary) 혹은 준-정상(quasi-stationary) 상태의 진공 측정에 쉽게 적용될 수 있다. 이들 게이지 중에는 시간 변화가 심한 비정상(non-stationary) 진공을 대상으로 하는 고속 게이지도 있으나, 게이지의 시간 반응 특성에 대한 교정이 문제가 되고 있다.

 

○ 이에 대한 해답으로 이 논문에서 제안하는 광 간섭계를 이용한 진공 측정 기술은 개념 자체가 참신할 뿐 아니라, 진공 게이지의 활용 범위를 동적 변화 진공의 영역으로 넓힐 수 있을 것으로 보인다. 일부 산업 분야에서는 가스의 급속 팽창이나 응축이 따르는 공정이 다수 있으며, 이 경우 논문의 새로운 기술은 큰 활용성을 가질 수 있다.

 

○ IT 산업과 기술이 특히 발달한 우리나라는 진공 기술의 활용 수준이 세계적으로 높으며, 이에 따라 많은 국내 기업뿐만 아니라 해외 vender 들의 국내 활동이 활발하다. 그러나 진공 기술 분야의 국내 기업은 대개 진공 발생 장치 혹은 관련 부품의 개발과 생산에 중점을 두고 있다. 이에 반하여 진공 게이지 수요는 대개 해외 브랜드가 점유하고 있다.

 

○ 한국표준과학연구원은 국가표준 정점기관으로서, 연구소 산하 진공기술센터는 진공 표준의 국제 소급성 유지를 위한 1차 진공 표준 확립에 노력하고 있다. 비정상 진공 상태에 대한 1차 표준으로서 이 논문이 제안하는 방법을 적용하여 진공 측정기술 활용의 범위를 넓히도록 하자.

 

저자

Domenico Mari, et al.

자료유형

니즈학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2014

권(호)

25()

잡지명

Measurement Science and Technology

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

12530301~12530307

분석자

은*준

분석물

• 광 간섭기술에 의한 동적 진공 측정.pdf [521,514 byte]

이미지변환중입니다.