전자현미경으로 얻은 원자영상과 원소분석

전문가 제언

○ 전자에너지손실분광학(EELS)은 가속전자가 시료에 입사할 때 시료와 상호작용하여 전자의 운동에너지 변화를 측정하는 분석기술로서 TEM 속에서 행해질 때 EELS는 원자수준의 분해능으로 고체의 구조적, 화학적 정보(화학성분)와 밴드갭 같은 전자적 특성을 측정할 수 있다.

 

○ 에너지분산 X선 분광학(EDX)은 가속 전자빔이 시료에 입사하면 시료와 상호작용하여 시료의 내각전자는 고에너지준위로 여기 되고 다시 기저상태로 전이할 때 원소의 특성 X선을 방출하므로 시료에서 방출되는 X선 수와 에너지를 측정하여 시료의 원소분석이나 화학적 특성평가에 사용하는 분석기술이다.

 

○ 최근 EELS와 EDX에 의한 원소분석연구가 활발히 진행되고 있다. 여기서는 일본 산업기술종합연구소(AIST)에서 개발한 주사투과전자현미경(STEM)과 EELS 및 EDX를 이용한 저차원 물질(Mo1-xWxS2 단일층)에 대한 단일 원자 분광학의 예로 원자영상과 원소분석을 기술하였다.

 

○ 2013년 미국 Transparency Market Research에 의하면 현미경디바이스 세계시장은 2011년 30억 달러에서 2018년에 62억 달러로 성장할 것으로 예측하고 있다. 현미경디바이스 세계시장을 리드하는 주요기업은 Hitachi High-Technologies Corp., Carl Zeiss, FEI, JEOL, Leica Microsystems, Nikon, Olympus 등이다.

 

○ 국내의 전자현미경 국산화는 2000년대 초반부터 한국표준과학연구원 에서 개발된 기술을 2007년 (주)코셈(COXEM)에 이전, 현재 CX-200TA SEM(배율 : 10만배, 해상도 3∼10nm) 등을 생산 시판하고 있다.

 

○ NDSL에 들어가 ‘Electron energy-loss spectroscopy’를 검색한 결과 해외논문이 3578건, 국내논문 11건이다. 국내에는 연세대(지구과학)와 서울대(무기재료, 지구과학)에서 EELS와 SEM을 이용한 광물의 반응분석과 고체표면물성 연구를 한바 있으나 미국, 일본 등에 비해 연구가 미약하다. 앞으로 원소분석 등 관련연구의 활성화를 기대해본다.

저자

Kazu Suenaga

자료유형

학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

정밀기계

연도

2014

권(호)

15()

잡지명

Comptes Rendus Physique

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

151~157

분석자

이*희

분석물

• 전자현미경으로 얻은 원자영상과 원소분석.pdf [299,764 byte]

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