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진동제어 기판처리 로봇 시스템

전문가 제언

니즈특허 분석하여 제출합니다.

저자
Applied Materials, INC
자료유형
니즈특허정보
원문언어
영어
기업산업분류
정밀기계
연도
2014
권(호)
WO20140085163
잡지명
Vibration-controlled substrate handling robot, systems, and methods
과학기술
표준분류
정밀기계
페이지
~39
분석자
이*원
분석물
목록
담당부서 담당자 연락처
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