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쉽게 씻기는 일시 기능성 코팅에 사용되는 프라이머 접착제의 조성과 제조방법

전문가 제언: ○ 전자기기, 특히 반도체 웨이퍼나 평판표시기 제조공정에서 일시적 코팅은 기저의 보호, 접착성, 특정 영역의 마스킹이나 무늬화 등의 용도로 사용되는 필수 공정이다. 일시적 코팅은 공정이 끝난 후 깨끗이 세정하여 기저는 고도의 청결을 유지해야 한다. 일반적으로 코팅제는 고분자 중합체를 사용하며 중합체는 중합과정에서 미량의 불순물이 남게 되어 용매로도 제거가 어려워 세정기술의 어려운 도전이 되고 있다.

○ 고무-형 고분자, 특히 고분자량의 폴리에틸렌(HMWPE)과 폴리이소부틸렌(PIB)중합체는 Ziegler-Natta 또는 양이온 중합공정에서 유도되는 미량의 고분자량의 비극성분자 겔을 함유하며 이는 용매로 세정해도 제거가 어렵다. 또한 기능성 코팅은 과잉의 열, 산화조건 또는 UV에 노출되면 기저와 교차연결반응을 하여 제거가 어려운 불순물을 만든다. 발명의 씻기는 프라이머는 이러한 불순물제거를 지원하여 관련업계의 관심의 초점이 되고 있다.

○ 발명의 씻기는 프라이머 조성의 기술적 특성은 운반체 용매나 기능성 코팅제에 의해서 영향을 크게 받지 않고, 기능성 코팅과 큰 차이의 극성과 표면에너지를 가지며, 소결과정에서 기계적이나 화학적으로 안정하다는 것이다. 특히 공정이 완결 이후 전통적으로 제거가 어려운 중합체 불순물제거는 물론 기저로부터 코팅제를 제거하는 세정기능을 지원하고 추가하여 가격이 저렴하다는 장점을 가지고 있다.

○ 발명의 주요 기술은 ① 씻기는 프라이머의 조성과 제조방법 및 기저에 소결하는 방법 ② 씻기는 프라이머에 기능성 코팅제에 적용방법과 두께 및 소결방법 ③ 기저로부터 일시적 기능성 코팅의 제거방법 등의 전술한 기술 사항은 대부분은 국내 특허로 등록되지 않았다고 판단된다. 그러므로 발명의 유사기술 활용에 앞서 각 기술 항목에 대해 특허 및 실제제품에 대한 분석조사를 하고 이 결과에 따라 활용범위의 폭을 정하는 것이 필요하다.

저자: MOORE, Jhon
자료유형: 니즈특허정보