CVD SiC의 형상적응연마

전문가 제언

CVD(chemical vapor deposition, 화학증착)법, CVI(infiltration, 화학증기 침투)법, CVR(reaction, 화학증기반응)법이 흑연 위에 탄화규소(SiC)를 코팅하는데 사용된다. 이들 제조비용은 수년간 감소하여 어디서나 얻을 수 있게 되었다. 예를 들면 흑연 같은 기계 재료를 코팅하여 강도를 증가시키는데 응용한다. 고속 5축 밀링이 흑연기판을 복잡한 모양으로 가공하는데 사용되며, 그 후 CVD로 고저항 표면을 만든다. 생긴 주형(mould)은 800℃ 이상 고온에서 규산알루미늄 유리를 찍어 만드는데 사용할 수 있다. 이런 제조법이 잘 긁히지 않는 유리로 만든 부피 큰 셀폰 케이스를 만드는데 제일 경제적인 방법이다. 다른 응용은 벌크 SiC로부터 고저항 광학표면을 만드는 것이다.

 

CVD SiC 코팅을 연마하여 광학적 표면품질로(표면거칠기 2nm Ra보다 적음) 만들기 위해 혁신적 형상적응연마(shape adaptive grinding, SAG) 도구를 제안한다. 이 공정은 7축 CNC 플랫폼을 사용하여 개발했으며, 평면과 자유형 표면에서 증명되었다. 연마도구의 탄성은 자유형표면에 따라 허용된다. 본 글에서는 SAG 도구의 원리를 기술했으며, 제거율과 표면거칠기는 다양한 모래(grit) 크기 (3.9, 40μm 다이아몬드)와 알갱이(pellet) 물질(니켈과 수지)에 대해 특성평가 했다.

저자

Anthony Beaucamp, Yoshiharu Namba, Herman Combrinck, Phillip Charlton, Richard Freeman

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

일반기계

연도

2014

권(호)

63()

잡지명

CIRP Annals - Manufacturing Technology

과학기술
표준분류

일반기계

페이지

317~320

분석자

이*희

분석물

• CVD SiC의 형상적응연마.pdf [257,401 byte]

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