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DLC와 고기능 탄소막에 의한 바이오· 의료 분야에의 응용

전문가 제언

DLC (Diamond-Like Carbon)는 탄소가 주된 원료인 탄소막의 일종으로 저마찰성과 고경도를 특징으로 한다. 이 DLC의 저마찰이나 저응착성을 이용하여 산업 활용에 비약적으로 확산하고 있다. 예를 들어, 반도체 제조설비, 자동차 제조설비에 도입, 가전, IT 기기 등에의 응용을 들 수 있다. 최근에는 또한 의료 관련 재료나 반도체 등에 응용이 되고 있다. DLC막의 구조는 장거리 질서를 갖지 않는 비정질 박막이며, 단거리 질서로서 결합( 혼성 궤도)과 결합( 혼성 궤도)이 혼재하고 있다.

 

구조나 수소 함유량에 차이가 있는 DLC막을 구별하기 위해, 수소함유량이 5at% 이하에서 구조가 20~50%인 a-C (Amorphous carbon)와 구조가 50~90%인 ta-C (Tetrahedral amorphous carbon), 수소함유량이 5~50at%에서 구조가 20~50%인 a-C:H (Hydrogenerated amorphous carbon)로 분류하는 방법이 제창되고 있다. 이러한 구조나 수소함유량의 차이에 따라 기계적?전기적?광학적 특성은 크게 변화한다.

 

저자
Masanori HIRATSUKA
자료유형
연구단신
원문언어
일어
기업산업분류
재료
연도
2014
권(호)
65(6)
잡지명
表面技術
과학기술
표준분류
재료
페이지
268~271
분석자
강*태
분석물
담당부서 담당자 연락처
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