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첨단기술정보

고화소밀도 이미지센서의 고효율분광

전문가 제언: 카메라는 생활의 여러 가지 분야에서 사용되고 있다. 카메라에는 눈의 망막에 상당하는 기능의 이미지센서가 탑재되어 있다. 컬러이미지센서는 복수의 광 검출기의 위에 금속배선, 컬러필터, 마이크로렌즈 등이 적층된 구조이다. 카메라의 소형화, 고해상도화의 요망에 따라 이미지센서도 미세화가 추진되며 이것과 동시에 하나의 화소에서 받는 광량이 저하되므로 센서의 감도향상이 중요한 과제가 된다.

이 고감도화를 위해서 마이크로렌즈와 층의 내부에서 렌즈의 형상최적화와 도파로(waveguide)구조, 뒷면 조사구조의 도입 등 여러 가지 조치를 하고 있으나 어느 것도 컬러필터에 의한 분광을 전제로 한다. 컬러필터는 어느 파장범위의 광이 투과하고 다른 광은 흡수함으로 분광을 실현하고 있다 광의 흡수율이 50~70%정도로 고감도화를 방해하는 요인이 된다. 파장크기의 투명판상구조(Deflector)에서 발견된 분광기능과 이것을 응용한 고감도센서기술에 대해서 소개한다.