산화철 에피택셜 박막의 제조와 기초물성

전문가 제언

○ 1990년대에는 분말 또는 박막 스피넬 페라이트의 합성 및 자기적 특성에 대한 연구가 국내 대학에서도 활발히 진행되어 한국자기학회지, 한국재료학회지에 등에 발표되어 왔다. 그 후 2000년대에 들어와서는 휴대전화, 캠코더 및 노트 PC 등 고기능성 전자기기의 수요가 증가함에 따라 IT부품들의 초소형화의 요구와 동시에 통신 주파수도 MHz대역 에서 GHz대역의 주파로 빨리 진행되고 있다.

 

○ 전자파간섭 대책기술의 하나인 자성 박막의 집적화에 의한 소자화로 전자파 노이즈 대책에 대한 수요가 급증하고 있다. 따라서 마이크로 스트립 선로나 코프라나 전송 선로(CPW)에 자성 박막을 장착해 RF대역의 신호전송 시 노이즈를 제거하는 연구도 있다. 고밀도 집적화된 반도체소자 내부에 실장 가능한 극 박막의 자성체로 충분한 노이즈 감쇠를 얻기 위해서는 상당히 큰 투자율의 허수부가 요구된다. 따라서 얇고 투자율이 큰 재료로는 일축 이방성을 갖는 자성 박막재료가 주목을 받고 있다.

 

○ 페라이트 박막과 같이 높은 전기저항과 우수한 투자율 특성을 갖는 2차원 형상의 자성재료의 개발은 이상적인 마이크로 EMC 대책에 큰 기여를 할 것으로 판단된다. 그러나 국내에서는 이 분야의 연구가 미흡하며 일부 국내기업에서는 이들 제품을 전량 수입하고 있으며 선진국이 중심이 된 국제표준회의(IEC)에서 전자파 노이즈 대책 및 측정기준에 대한 표준화가 진행되고 있으나 한국은 참여하지 않고 있다.

 

○ 본고에서의 Co 페라이트 단결정 박막의 제조는 Tsukuba 대학, Tohoku대학, Nagoya 공업대학 등의 공동연구로 이루어졌으며 세계 최초로 성공하였다. Co0.75Fe2.25O4 박막의 Ms는 430emu/cm3로 벌크와 거의 같았고 수직 자기이방성은 140kOe에서 9Merg/cm3이었고 CoFe2O4에서는 15Merg/cm3로 백금을 함유하지 않은 차세대 기록매체재료로 유망하다. 이들 결과는 고도로 발전된 막 제조기술과 평가기술을 구사한다면 자성재료의 탐색 및 개발을 위한 선택사항이 크게 증가할 것이라 기대된다.

 

저자

Eiji KITA, et al

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2014

권(호)

49(6)

잡지명

セラミックス

과학기술
표준분류

재료

페이지

450~454

분석자

김*호

분석물

• 산화철 에피택셜 박막의 제조와 기초물성.pdf [410,399 byte]

이미지변환중입니다.