게임기·휴대·정보단말용 센서

전문가 제언

MEMS 센서의 산업화는 1970 년대의 차량용 센서로 시작되었다. 그 후 20년 정도에 걸쳐 MEMS 센서는 주로 차량용을 중심으로 상업화되어 왔다. 근래에는 여기에 추가하여 게임, 휴대전화, 디지털카메라 등의 여러 가지의 정보단말기기에 가속도센서, 자이로센서, 자기센서, 압력센서 등, 다양의 MEMS센서가 대량으로 탑재되어 왔다.

 

가속도센서, 자이로센서의 민생기기 시장에 있어서 2010년부터 2015년까지의 CAGR(Compound annual growth rate: 연평균 성장률) 예측치는 각각 10.5%, 18%에 있고 2015년에 있어서는 전세계 시장에서 800억 엔 이상의 시장을 형성한다고 예측되고 있다. 본고에는 게임기, 휴대전화 등의 정보단말에 사용되고 있는 MEMS 센서의 개요, 응용 및 경향에 대해서 설명한다.

 

여기에서 ST 마이크로전자(이하 ST)의 가속도센서를 예로 들어, MEMS 센서의 동작과 제조 프로세스에 대해서 서술한다. ST는 가속도센서의 방식으로 하여 정전용량을 채용하고 있다. 정전용량방식은 기존의 피에조 저항방식의 센서가 주로 되여 벌크마이크로머시닝 프로세스를 사용하여 제작되는데 대해, CMOS 프로세스와 공통점이 많은 표면 마이크로머시닝기술을 사용하기 위해 양산성이 높고, 온도보정회로를 갖지 않아도 양호한 온도특성을 가진다.

저자

Sakada Minoru

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2014

권(호)

134(3)

잡지명

電氣學會誌

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

132~135

분석자

김*근

분석물

• 게임기·휴대·정보단말용 센서.pdf [264,122 byte]

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