레이저 조사 잉크젯법(LIJ)에 의한 배선묘화의 미세화

전문가 제언

○ 잉크젯 기술이 급속도로 발전하면서 그 응용분야도 넓어지고 있다. 이것은 데스크톱 프린터뿐만이 아니고, 대형 컬러그래픽스, 디지털 주문형 프린터, 패키지, 텍스타일 등에 많이 활용되고 있다. 특히 평판디스플레이에 응용은 LCD, 플라스마, OLED 제조공정의 간략화로 비용절감에 크게 기여하고 있다. 유기반도체, PCP, 바이오칩 등 고도의 정밀하고 미세한 새로운 패턴 형성기술이 자리를 잡아가고 있다.

 

○ 종래 공업용 잉크젯 기술로 미세 패턴의 묘화 과정에서 기판에 잉크를 착탄시킬 때 젖음 확산을 억제하기 위해서 토출되는 잉크액적 크기를 미세화 시키기 위한 잉크재료의 점도나 표면장력을 조정하였다. 그러나 실용적으로 30㎛ 이하의 미세배선 묘화는 처리량이나 수율을 고려하는 경우에 용이하지 않다.

 

○ 이 문헌에서 개발한 레이저 원용 잉크젯(LIJ)법은 노즐에서 토출된 액적이 기판에 착탄되기 직전에 착탄위치 근방을 레이저로 가열하여 잉크액적 내부의 용매를 증발시켜 잉크를 건조하여 착탄 후 액적의 젖음 확산을 억제하는 방법이다. 잉크젯 토출 주파수가 일정한 조건 하에서 레이저 조사 파워와 스테이지의 상대 변동속도를 변화시키면 레이저 파워의 증가에 따라서 묘화 선폭이 좁아졌다. 또한 레이저 조사에 의해 기판이 가열되어 선폭이 미세해지는 경향이 나타나고 있다.

 

○ 국내에서도 잉크젯을 이용하는 분야가 확대되면서 연구가 활발하게 진행되고 있다. 국내에서 이와 관련된 과제는 약 600건이 수행되었다. 주로 연구기관으로 한국생산기술연구원, 한국화학연구원, 한국기계연원 등과 고려대학, 연세대학, 서울대학 등이 많은 과제를 수행하였다. 민간 기업으로는 잉크테크, 이그잭스, 나노기술 외 여러 기업이 참여하고 있다. 잉크젯 기술은 크게 하드웨어, 적합한 잉크, 시스템 등이 핵심 기술의 집합체이다. 관련 분야의 기술을 개발하기 위해서는 소재업체, 장비 업체와 수요업체의 협력이 중요하다. 이 기술을 선도하기 위해여는 정부와 학계, 관련 업계의 협력체제 구축이 필요할 것으로 생각된다.

 

저자

Jun AKEDO et al,

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2013

권(호)

64(11)

잡지명

表面技術

과학기술
표준분류

재료

페이지

582~586

분석자

강*호

분석물

• 레이저 조사 잉크젯법(LIJ)에 의한 배선묘화의 미세화.pdf [387,801 byte]

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