광통전 하이브리드？펄스 가열법에 의한 고속다중 물성측정 장치개발

전문가 제언

○ 최근 반도체나 정보통신부품이나 기기의 첨단화에 따라, 일부소자에 국부적 용융 상변화에 의한 고집적화 된 매체에 응용되기 시작하고 있다. 이에 주변기기나 부품에 영향을 주지 않고 용융 상변화 없는 고상상태에서 강자성 상변화나 열반사율 효과를 살리려는 측정기술이 개발되고 있다. 하지만 실험적 근거를 바탕으로 한 측정기가 제시되고 있지 못하고 있는 실정이다.

 

○ 2003년 미국의 Oki Electric사는 반도체 레이저를 사용한 활성 초단파 광학펄스 측정에 관한 특허(USP2003046542522)를 등록하였다. PbTe 열전 재료 또한 뛰어난 초해상 재생신호와 함께 레이저 반복 조사에 대한 내구성을 갖고 있는 것으로 보고되었다. 적색광의 영역에서 PbTe에 대한 광학적-전기적 상관관계를 규명하기 위해 마이크로 리소그래피(micro-lithography)공정을 이용한 박막 소자에 실시간 광-전기 인가 실험을 실시한 결과, 레이저 파워가 증가하였다고 보고되고 있다. 하지만 정량적인 데이터가 제시되지 못하고 있다. 이에 광 투과도 증가, 광 가열효과를 정량적으로 측정할 수 있는 장치개발이 필요하다.

 

○ 2012년 전북대학교에서는 급속소결에 의한 나노구조 티타늄과 티타늄 금속간화합물의 제조 및 기계적 성질에 관한 연구결과를 발표하였다. 펄스전류 활성가열에 의한 소결 및 기계적 특성을 측정하여 종래의 고주파유도 가열법의 특성과 비교하였다. 또한 GeSbTe계 박막합금의 상변화, 광 및 전기 메모리 기억을 하는 초해상에 관한 연구가 2008년 고려대학교에서 추진되었다. 이 기술을 응용하기 위해서는 광통전의 하이브리드 펄스 가열기법에 의한 고속다중 물성측정이 효과적이다.

 

○ 금속의 고상효과와 용융효과의 공존 가능성 측정에 대한 문제가 제기되고 있는 상황에도 불구하고 아직 용융유무에 관한 직접적인 실험적 데이터가 제시되기 있지 않는 상황이다. GeSbTe계 합금과 PbTe는 Te를 기반으로 한 나노 칼코게나이드 재료로 좁은 밴드 갭의 p형 반도체이다. 광통전의 하이브리드 펄스 가열기법은 나노반도체에 가해진 열이나 광에너지 레이저 조사부분의 근접한 소자에 손상을 주지 않는 다중물성 측정에 기여할 수 있을 것으로 사료된다.

저자

WATANABE Hiromichi

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2014

권(호)

84(2)

잡지명

金屬

과학기술
표준분류

재료

페이지

112~116

분석자

이*용

분석물

• 광통전 하이브리드？펄스 가열법에 의한 고속다중 물성측정 장치개발.pdf [403,789 byte]

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