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첨단기술정보

센서와 계전기 스위치의 MEMS 기술응용

전문가 제언: 센서는 인간세계 다양하게 탑재되어 생활을 풍요롭게 하는 사회 발전에 크게 공헌한다고 할 수 있다. 물체의 유무를 검지하는 것으로부터 환경상태를 알기 쉽도록 모니터링 하는 것까지 센서의 종류도 다양하고 사회생활에서 필요에 따라 응용되고 제품화되고 있다. 센서의 구조는 외부의 광, 열, 압력, 소리, 냄새 등의 물리량이나 화학량을 전기신호로 변환하여 제어 대상 정보로 활용하기 때문에 센서부와 전기회로부로 구성되어 있는 것이 일반적이다. 그러므로 반도체기술과 집적화기술의 진화와 센서의 진화는 함께 발전한다.

그 중에서도 반도체프로세스 기술을 응용하여 마이크로 나노수준의 MEMS(micro-electro-mechanical system)기술을 센서에 응용하는 것들이 산업용으로부터 일상생활에 사용하는 기기에 탑재할 수 있는 사이즈와 가격의 센서가 많이 제품화되고 있다. 향후에도 센서의 MEMS기술응용이 다양하게 진보되리라 생각되지만 많은 기구부품도 MEMS기술을 응용하는 것에서부터 지금까지는 상상할 수 없던 새로운 가치를 창출할 가능성을 기대할 수 있다. 여기서는 현재 상용화되고 있는 MEMS기술을 활용한 다양한 디바이스부터 열 방식 질량유량센서, 정전구동 식 계전기 스위치의 예를 소개한다.