용액성장법에 의한 SiC결정육성

전문가 제언

탄화규소(SiC)는 차세대 고성능 전력반도체로서 주목을 모으고 있다. 자동차분야에서도 하이브리드 자동차와 전기자동차 보급에 따라 전력효율 향상을 위하여 에너지 절약 소자의 기술개발이 진행되고 있다. SiC전력반도체는 전동차량의 변환장치(inverter)와 직류-직류(DC-DC) 전환기(converter) 시스템을 소형경량화 할 가능성을 비추고 있다.

 

SiC반도체를 본격적으로 보급하기 위해서는 다양한 과제를 해결할 필요가 있고, 이중에서도 보급을 방해하고 있는 결정기판의 전위결함에 유래하는 품질문제가 큰 요인인 것으로 사료된다. Toyoda자동차에서는 전위결함 품질에 관련된 문제를 해결하기 위해서는 Si나 GaAs등, 종래부터 사용되고 있는 액상에서의 결정성장법이 가장 적합하다고 생각하여 용액성장법(TSSG; Top- Seeded Solution Growth)에 의한 SiC단결정 육성에 몰두하고 있다.

저자

Hidemitsu Sakamoto

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2014

권(호)

62(3)

잡지명

工業材料

과학기술
표준분류

재료

페이지

19~22

분석자

이*용

분석물

• 용액성장법에 의한 SiC결정육성.pdf [276,364 byte]

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