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첨단기술정보

투명 전극용 인듐 대체재료 산화아연의 연구개발과 금후의 전망

전문가 제언: 투명 도전특성을 가진 산화아연 박막은 기능성 글라스(필름) 및 이를 응용한 디바이스 기재로서 우위성 설계를 가능케 하는 전자재료이다. 투명 전극용 인듐(In) 대체재료 개발 프로젝트의 목적은 In에 대하여 사용원단위 50% 삭감이었다. 목적을 효과적으로 달성하는 해결법으로서 In 용도의 대부분을 차지하는 ITO를 기재로 하는 액정 TV용 투명전극에 대한 대체재료 개발을 실시하였다.

성막법은 종래의 직류 마그네트론 스퍼터링법을 사용하였으며, 기존의 대량생산 공정에 의한 실장 및 화면 연속표시 신뢰성을 세계 최초로 확인하였다. 또한 휘도 특성도 종래 제품보다도 5% 높은 것이 확인되었다.

이 투명 전도 막에 요구되는 광학특성은 최종제품의 가시광 영역에서의 고투과율과 경년적인 표시안정성이다. ZnO 투명 전도 막에 있어서 가시광 영역에서의 분광투과율의 특징은 ITO 박막에서 전형적으로 관찰되는 단파장(청색~녹색) 측에서의 투과율 저하(짙은 황색 박막으로 됨)가 관찰되지 않는 것이다.