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첨단기술정보

자기기능 형성재료에 의한 나노에서부터 미크론 크기의 간편한 패턴구축

전문가 제언: 현재 소자의 고기능화, 소형화에 따라 미세패턴을 간편하게 형성하는 기술이 요구되고 있다. 종래의 광 리소그래피를 사용한 미세구조 구축기술은 노광, 현상의 복잡한 공정을 거쳐서 3차원적인 요철구조를 제조하는 기술로서 얻고자 하는 재료와는 다른 재료를 적층하거나 에칭에 의해 기능소자를 제조하였다.

광을 조사하는 외부장의 자극에 의해 재료에 직접 변환하는 자기조직화 광 제어, 광반응에 따른 능동운송 기술이 최근 활발히 연구되고 있다. 동경이과대학의 Takashi Yamashita교수는 재료의 굴절률과 발색을 광반응이나 전자선 조사로써 제어하는 광학재료 기술을 보고하고 있다. 자기조직화로써 광을 제어하고, 광을 반응시키는 기술은 레지스트 공정을 거치지 않고 기능회로 제조가 가능한 기술이다. 여기에서는 최근의 나노수준에서의 기능제어 및 내열성 수지를 사용한 미크론 수준의 구조와 기능제어 기술을 소개하였다.