폴리머 기판상에 산화아연 투명도전막의 다층 성막 기술과 박막 물성

전문가 제언

 

○ 산화아연(ZnO)에 전도성을 목적으로 한 첨가물(Al, Ga 등)을 고농도(1020 ~ 1021㎝-3)로 도핑하면 투명전도막이 된다. GZO(Ga첨가 ZnO)투명전극의 특징은 휘도(brightness) 특성과 저온 성막조건에서도 적은 분산 특성이 있다. 현재 투명전도막 기재인 주석첨가 산화인듐(ITO)은 가시광 영역에서 단파장 영역(400 ~ 550㎚)으로서 투과율이 낮고, 보색으로 되는 황색(파장 : 580 ~ 595㎚)과의 관계로 인해 박막이 황색이 되는 문제점이 있다.

 

○ 이 기고는 폴리머 기판상의 산화아연 투명전도막에 있어서 전기, 휨 특성 등을 검토하였다. 양호한 휨 특성 달성을 위한 목적으로 잔류응력 특성을 결정하는 박막을 실현하는 RPD법에 의한 대면적화와 저온 고속다층 성막기술을 개발하였다. 막 두께 100㎚의 산화아연 투명전도막의 저항률은 5×10-4Ω㎝이다.

 

○ 또한 기존 유리 기판에서 더욱 가벼운 투명전도막 부착 폴리머기판의 가시광 투과율은 높고, 더욱 파장성이 약한 특징을 갖는다. 한편, 분광투과율의 실험결과, 단파장 영역에서 GZO 박막의 투과율은 ITO 박막보다도 3~7% 높은 것으로 확인하였다.

 

○ GZO 박막은 터치패널의 문제점인 화면 시인성(visibility) 저하에 관한 해결책의 하나로서 기대된다. 또한 GZO를 액정 TV에서 공통전극으로 응용하였고, 또한 터치패널 등 표시장치의 투명전극, 박막 태양전지의 창층(window layer)등이 있다. 한국은 디스플레이 기기 산업 분야의 선도 국가로서 투명전도성막 등을 선점하기 위하여 부가가치가 높은 핵심부품 소재의 기술개발이 매우 중요하다.

 

○ 현재 삼성코닝정밀소재는 우수한 전기적 특성 및 투과율을 갖는 광전지용 ZnO에 Ga가 도핑된 투명전도막 및 이를 포함하는 광전지에 관련된 특허를 공개하였다(공개번호 10-2014-0007078). 또한, 벤처기업인 아이카이스트는 일본 리켄테크노스와 공동으로 세계 최초로 유리대신 플라스틱을 이용한 휘는 정전용량방식의 대형 터치패널의 개발에 성공하였다(매일경제, 2014. 4. 15).

저자

Tetsuya YAMAMOTO et al.

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2013

권(호)

33(11)

잡지명

機能材料

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

45~51

분석자

이*복

분석물

• 폴리머 기판상에 산화아연 투명도전막의 다층 성막 기술과 박막 물성.pdf [378,709 byte]

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