SiC 단결정 에피택셜 웨이퍼의 고품질화

전문가 제언

○ 전력기기의 대폭적인 에너지절약을 실현시켜줄 전력반도체 재료로 실리콘 카바이드(SiC : Silicon Carbide)가 큰 기대를 모으고 있다. 쇼트키장벽 다이오드가 이미 양산되고 있고 전계효과 트랜지스터의 시험판매도 시작되고 있으나 본격적인 실용화와 보급에는 많은 과제가 남아 있다.

 

○ 본 보고서는 SiC 반도체기술의 기초가 되는 SiC 단결정 웨이퍼의 고품질화에 대하여 기술하고 있다. 벌크결정성장, 기판가공, 에피택셜 박막 성장의 각 공정에 대하여 고품질화의 현황을 소개하고 앞으로 해결해야 할 과제에 대하여 상세하게 소개하고 있다.

 

○ 우리 정부가 2010년부터 추진 중인 WPM(World Premier Material)은 2019년까지 세계시장 10억 달러 이상의 매출창출이 가능하고, 세계시장 점유율 30% 이상 달성 가능한 10대 세계일류소재를 개발하는 정부지원 소재 R&D 사업이다. 세부과제로는 △초고순도 SiC 분말(LG이노텍 주관), △차세대반도체/LED 핵심공정용 초고순도 SiC 제조(SKC솔믹스 주관), △고품위 SiC 단결정 웨이퍼 제조(포스코 주관), △에너지반도체 소자용 SiC 에피 소재(LG이노텍 주관)로 나누어 개발하고 있다. 2019년 4조원 시장으로 전망되는 초고순도 SIC 소재시장에서 35%의 시장점유율을 확보하고 4,200명의 고용창출효과를 목표로 하고 있다.

 

○ 세계를 선도하고 있던 Cree를 일본의 ShinNittetsuSumikin, Showa Denko, SiCrystal/Rohm, 미국의 Dow Corning, II-VI 등에 우리의 SKC 솔믹스와 중국의 SICC가 따라붙고 있는 치열한 실용화경쟁이 전개되고 있다. 선두경쟁 속에는 Toyota, Nissan 등의 완성차메이커 이름도 자주 등장한다. 자동차 전동화경향 속에서의 현대/기아차의 움직임도 궁금하다. 하이브리드자동차 왕자인 Toyota는 전력소자를 직접 개발하여 사용했다는 것을 명심해야 한다.

 

○ 이 보고서에서 소개되고 있는 여러 고품질화 기술을 타산지석으로 삼아 심층 분석/재현함으로써 우리의 저력을 키우는 것이 차후의 비약에 큰 도움이 될 것이다.

저자

N. Ohtani

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2013

권(호)

82(10)

잡지명

應用物理

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

846~851

분석자

조*

분석물

• SiC 단결정 에피택셜 웨이퍼의 고품질화.pdf [363,792 byte]

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