액정에 지배된 액정성 블록코폴리머 박막
- 전문가 제언
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나노테크놀로지에서 요구되는 구조 사이즈가 미세화되는 가운데 2,000년경부터 블록 코폴리머(BC)가 미크로 상 분리에 의해 형성되는 나노스케일의 주기적 도메인구조를 이용하는 형태로 바뀌고 있다. 나노 도메인의 배열을 제어, 유도하는 Directed Self-Assembly(DSA) 기술이 2011년에 반도체 리소그래피 기술의 국제 로드맵에 게재되었다. 벌크 상태에서 BC의 미크로 상 분리에 관한 학술적인 연구가 활발해지는 가운데 배향과 배열을 제어하기 쉬운 박막화가 응용되기 시작하고 있다.
벌크 상태에서 미크로 상 분리된 BC 내부에서는 나노도메인이 여러 가지 배향 그레인을 형성하고, 이들이 모여 멀티그레인 구조를 형성하고 있다. 한편 박막상태에서는 나노도메인의 배열을 공기계면 및 기판계면의 효과를 이용하여 제어할 수 있게 되었으며, 외장에 대한 응답성도 향상되기 때문에 배향을 제어하기가 용이하다.
미크로 상 분리 구조를 패턴 마스크, 나노공 멤브레인 및 높은 어스펙트 비 구조를 가진 기능성 나노재료의 제작 등에 응용하기 위해서는 수직으로 배향된 나노도메인이 유용하며, 특히 수직으로 배향된 나노실린더 구조를 가진 막이 유효하다.
- 저자
- Komura Motonori
- 자료유형
- 연구단신
- 원문언어
- 일어
- 기업산업분류
- 화학·화공
- 연도
- 2014
- 권(호)
- 63(2)
- 잡지명
- 高分子
- 과학기술
표준분류 - 화학·화공
- 페이지
- 112~113
- 분석자
- 서*석
- 분석물
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