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액정에 지배된 액정성 블록코폴리머 박막

전문가 제언


나노테크놀로지에서 요구되는 구조 사이즈가 미세화되는 가운데 2,000년경부터 블록 코폴리머(BC)가 미크로 상 분리에 의해 형성되는 나노스케일의 주기적 도메인구조를 이용하는 형태로 바뀌고 있다. 나노 도메인의 배열을 제어, 유도하는 Directed Self-Assembly(DSA) 기술이 2011년에 반도체 리소그래피 기술의 국제 로드맵에 게재되었다. 벌크 상태에서 BC의 미크로 상 분리에 관한 학술적인 연구가 활발해지는 가운데 배향과 배열을 제어하기 쉬운 박막화가 응용되기 시작하고 있다.

 

벌크 상태에서 미크로 상 분리된 BC 내부에서는 나노도메인이 여러 가지 배향 그레인을 형성하고, 이들이 모여 멀티그레인 구조를 형성하고 있다. 한편 박막상태에서는 나노도메인의 배열을 공기계면 및 기판계면의 효과를 이용하여 제어할 수 있게 되었으며, 외장에 대한 응답성도 향상되기 때문에 배향을 제어하기가 용이하다.

 

미크로 상 분리 구조를 패턴 마스크, 나노공 멤브레인 및 높은 어스펙트 비 구조를 가진 기능성 나노재료의 제작 등에 응용하기 위해서는 수직으로 배향된 나노도메인이 유용하며, 특히 수직으로 배향된 나노실린더 구조를 가진 막이 유효하다.

저자
Komura Motonori
자료유형
연구단신
원문언어
일어
기업산업분류
화학·화공
연도
2014
권(호)
63(2)
잡지명
高分子
과학기술
표준분류
화학·화공
페이지
112~113
분석자
서*석
분석물
담당부서 담당자 연락처
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