단순하지만 획기적인 포토리소그래피

전문가 제언

노광된 포토레지스트에 대하여 포지형 알칼리 현상과 네거형 유기용제 현상을 반복하는 이중현상  첨단 포토레지스트 개발의 일예를 개발하였다.   

 

저자

Shirakawa Michihiro

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2014

권(호)

63(1)

잡지명

高分子

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

27~28

분석자

서*석

분석물

• 단순하고 획기적인 포토리소그래피.pdf [249,140 byte]

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