반도체용 질화붕소 박막의 제조

전문가 제언

○ 특허의 출원자는 미국 북 텍사스 대학교(University of north Texas)로 되어 있다. 특허저자의 학술논문과 다른 여러 과학자의 논문을 참고하여 육방정계 질화불소(h-BN)의 박막성장을 특허로 발표한 것으로 보인다. 질화불소는 생성환경, 즉 생성조건에 따라 몇 개의 구조이성체를 형성한다.

○ 육방정계 불화질소의 분자식을 BN로 나타내는 것보다는 단위 화합물조성을 B3N3(=3BN)로 표시한다면 B와 N가 B-N-B-N...로 이어져서 육각형 고리를 형성한다는 것을 쉽게 이해할 수 있게 된다. 흑연은 탄소 6개(C6)가 한 단위가 되어 육각형 고리 C-C-C...를 형성하고 있다. 이것은 흑연의 “육각형 층상구조”이다.

○ 흑연은 탄소원자 6개가 6각형 고리를 만들어 평면으로 퍼저 나가는 판상 층을 이루고 있다. 6각형 고리를 이루는 C-C간의 길이는 1.42？이고, π-(2중)결합이 아니고 ？-(단일)결합이다. 판상과 판상간의 거리는 3.35？이다. 층과 층간의 결합은 반 데르 발스 힘으로 결합되어 있다. 흑연을 graphene(π-공명)으로 표기하는 것은 틀린 표현으로 본다.

○ 단결정은 결정구조에 결함이 전혀 없는 고체화합물의 구조를 말한다. 결함이 없기 때문에 물질의 고유특성을 정확히 나타낸다. 전에는 대형 단결정에서 박편을 잘라서 소자로 사용하였다. 지금은 에피택시기술로 기판에 결정을 증착해서 소자로 사용하기 때문에 제품의 부피가 크게 줄어들게 되었다. 앞으로 에피택시 성장연구가 활발할 것으로 본다.

저자

University of north texas

자료유형

특허정보

원문언어

영어

기업산업분류

화학·화공

연도

2014

권(호)

WO20140008453

잡지명

WIPO/PCT

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

~22

분석자

박*학

분석물

• 반도체용 질화붕소 박막의 제조.pdf [294,146 byte]

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