레지스트 패턴의 형성과정 관찰

전문가 제언

고속 AFM을 사용하여 레지스트 현상과정을 리얼타임으로 관찰하였다. 수지로는 PHS계, 메타크릴계 및 PHS와 메타크릴의 하이브리드계를 사용하였으며, 레지스트 수지에 따른 용해거동을 관찰하였다.

저자

Itani Toshihiro

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2013

권(호)

62(11)

잡지명

高分子

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

679~680

분석자

서*석

분석물

• 레지스트 패턴의 형성과정.pdf [261,745 byte]

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