MEMS 수준의 정밀 전기주조가공의 고속화와 그 응용

전문가 제언

MEMS(micro electro mechanical system) 수준의 미세가공을 필요로 하는 산업에서는 LIGA( Lithography, Electroplating, Molding) 프로세스로 대표되는 것과 같이 전기주조(electroforming) 가공이 많이 사용되고 있다. 전기주조는 오래 전부터 정밀도가 양호하게 고속으로 주형을 복제하는 기술로 알려져 있다. 수㎜의 두께는 물론 다양한 금속의 막을 형성할 수 있기 때문에 중공 부품의 제조나 금형의 제조기술로서 이용되었다. 근년에는 LIGS프로세스뿐 아니라 자외광을 이용한 사진평판기술(photolithography)과 전기주조기술을 융합한 정밀 전기주조가공은 값싼 미세가공기술로서 주목되고 있다.

저자

K. Yasuda

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2014

권(호)

62(2)

잡지명

工業材料

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

52~54

분석자

황*일

분석물

• MEMS 수준의 정밀 전기주조가공의 고속화와 그 응용.pdf [264,068 byte]

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