환경배려형 토리움 불포함 고휘도 방전램프의 전극용 소재

전문가 제언

LSI나 액정의 노광장치 및 수지경화장치 등에 사용되는 고휘도방전(HID) 램프의 방전전극에는 열전자방출 특성이 뛰어난 텅스텐 산화 토리움(W-ThO2) 음극이 이용되고 있다. ThO2는 방사성 물질로서 최근 사용이나 운송에 관한 규제가 강화되고 있어 램프 제조사에서는 이를 이용하지 않는 대체재질 개발을 추진하고 있다.

이러한 시장의 움직임에 따라 방전전극에 필요한 고융점, 고비점 및 낮은 일함수의 합금을 제작하고 W-ThO2와 동등한 특성을 가진 방전 전극용 소재를 개발하였다. 본고에서는 환경을 배려한 재료로서 실용화 한 텅스텐 산화 토리움 소재의 음극을 램프와 결합된 상태로 테스트한 내용을 소개한다.

저자

YAMAMOTO Shinichi, AOYAMA Hitoshi

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2014

권(호)

69(2)

잡지명

東芝レビュ-

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

57~59

분석자

홍*철

분석물

• 환경배려형 토리움 불포함 고휘도 방전램프의 전극용 소재.pdf [280,726 byte]

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